Hlavné použitie ultrapurových plynov

Rozmanitosť ultrapurských plynov sa vyvinula veľmi rýchlo. V roku 1981 bolo v 12 kategóriách viac ako 120 typov jednotlivých ultrapurových plynov a približne 300 druhov zmiešaných ultrapurských plynov. Čína môže vyrábať viac ako desať druhov jednotlivých ultrapurových plynov a desiatky zmiešaných ultrapurových plynov. Okrem hlavných odrôd uvedených v tabuľke sú jednotlivé ultrapurové plyny tiež oxid sírny oxid, oxid uhoľnatý, oxid uhličitý, etylén, n-bután, arzín, propadién, cis-butylén, butadién atď. Redukcia volfrámových vlákien v elektrických zdrojoch svetla, čistý argónový zmiešaný plyn, argónový helium zmiešaný plyn používaný na infláciu neónových žiaroviek atď. Existuje tiež veľa ultrapurských zmiešaných plynov používaných ako štandardné plyny v chromatografii, hmotnostnej spektrometrii a spektrálnej analýze.