Etán s vysokou čistotou

Etín s vysokou čistotou sa stal nevyhnutným vo výrobe polovodičov, kde dokonca aj nečistoty s dielmi za miliardu môžu narušiť výrobné procesy {{{}} ako etán s čistotou väčšou alebo rovnou 99 .}} 995%, s vysokou čistotou podstúpenie, vrátane krikľavého discitácie a dostávania oxygénu, vlhkej vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkej vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkosti, vlhkej čistoty a herom. Uhľovodíky . Globálny trh s vysokou čistotou etán rastie na 9% ročne, čo je poháňané dopytom po pokročilých čipoch a displejoch.

V polovodičovej výrobe slúži etánom s vysokou čistotou viacerých kritických funkcií:

Leptanie plazmy vrstiev nitridu kremíka

Chemické depozície pary filmov dotknuté uhlíkom

Procesy čistenia komory v litografických systémoch EUV

Techniky moderného čistenia pre etán s vysokou čistotou teraz dosahujú pozoruhodné úrovne kontaminácie:

<0.1 ppm total hydrocarbons

<0.5 ppm moisture

<0.01 ppb metallic impurities

Ukladanie a manipulácia s etátom s vysokou čistotou vyžaduje špecializované valce s vnútornými povrchovými úpravami, aby sa zabránilo adsorpcii kontaminantov {. plynových systémov využívajú elektropolovanú hadicu z nehrdzavejúcej ocele s ultra vysokým vákuovým vakuovým zariadenia nečistoty môžu znížiť účinnosť konverzie až o 2%.

Posledné inovácie zahŕňajú monitorovanie hmotnostnej spektrometrie v reálnom čase v reálnom čase monitorovanie tokov etánu s vysokou čistotou, čo umožňuje okamžitú detekciu výletov čistoty ., pretože sa zmenšujú geometria čipov pod 2nm uzly, špecifikácie pre étán s vysokou čistotou sa stávajú prísnymi a vedú k neustálemu zlepšovaniu vo výrobe a analýze...

Populárne Tagy: Vysoko čistota etanu, Čína Výrobcovia etatánu s vysokou čistotou, dodávatelia, továreň, Etán C2H6Etane CAS 74 84 0Etán s vysokou čistotouEtan na chladivo